พระมหาเข้ม ธมฺมสโร ได้รับพระราชทานสมณศักดิ์ตามลำดับดังนี้

• 13 พฤษภาคม พ.ศ. 2432 เป็นพระราชาคณะที่ พระอมรเมธาจาริย์ มีนิตยภัตราคาเดือนละ 4 ตำลึง[11]
• 10 พฤศจิกายน พ.ศ. 2442 เป็นพระราชาคณะที่ พระราชมุนี ตรีปิฎกาลังการ มีนิตยภัตราคาเดือนละ 4 ตำลึง 1 บาท[12]
• 15 พฤษภาคม พ.ศ. 2445 เป็นพระราชาคณะเจ้าคณะฝ่ายใต้ที่ พระเทพเมธี ศีลวิบุลนายก มหาคณฤศร บวรสังฆาราม คามวาสี มีนิตยภัตราคาเดือนละ 4 ตำลึงกึ่ง และรับพัดนพมุรธา[13]
• 6 พฤษภาคม พ.ศ. 2452 เป็นพระราชาคณะชั้นธรรมที่ พระธรรมเจดีย์ กระวีวงษ์นายก ตรีปิฎกบัณฑิตย์ มหาคณฤศรบวรสังฆาราม คามวาสี มีนัตยภัตราคาเดือนละ 7 ตำลึง[14]
• 24 กันยายน พ.ศ. 2464 เป็นพระราชาคณะเจ้าคณะรองอรัญวาสีที่ พระอุบาฬีคุณูปมาจารย์ ญาณวิสุทธิจริยาปรินายก ตรีปิฎกคุณาลังการ นานาสถานราชคมนีย์ สาธุการีธรรมากร สุนทรศีลาทิขันธ์[8]
• 9 พฤศจิกายน พ.ศ. 2466 เป็นพระราชาคณะเจ้าคณะรองคณะใต้ที่ พระธรรมวโรดม บรมญาณอดุลยสุนทรนายก ตรีปิฎกคุณาลังการภูสิต ทักษิณทิศคณฤศร บวรสังฆาราม คามวาสี[15]
• 24 กุมภาพันธ์ พ.ศ. 2472 เป็นสมเด็จพระราชาคณะเจ้าคณะใหญ่หนกลางที่ สมเด็จพระพุฒาจารย์ สมถวิปัสสนายานปรีชา สัปดวิสุทธิจริยาสมบัติ นิพัทธสัลเลขธุดงคธารี ตรีปิฎกโกศล สกลมัชฌิมคณิสสรบวรสังฆาราม คามวาสี อรัณยวาสี[16]